金融界 2024 年 9 月 1 日音讯，天眼查知识产权信息数据显现，姑苏玖钧智能配备有限公司获得一项名为“硅片清洗范畴所用大跨度行走模组机器人及其作业工艺“，授权公告号 CN118269118B，请求日期为 2024 年 4 月。
专利摘要显现，本创造公开了硅片清洗范畴所用大跨度行走模组机器人及其作业工艺，包含硅片抓取模组，对硅片进行吸附抓取；硅片清洗模组，若干个硅片清洗模组设在硅片抓取模组的同一侧；纵向导轨组，硅片抓取模组、硅片清洗模组均各自经过滚轮在纵向导轨组上做水平往复运动；纵向导轨组包含彼此并排安置的空腔型材、直线导轨、纵向水平齿条，空腔型材、直线导轨、纵向水平齿条各自长度均不持平；纵向水平齿条本身的凸齿竖直朝下，硅片抓取模组、硅片清洗模组本身均具有与纵向水平齿条啮合的圆齿轮，圆齿轮驱动硅片抓取模组、硅片清洗模组行走。选用此创造能智能提高硅片清洗范畴的大跨度行走功率，提高作业精度。
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